CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng)，用于惰性氣體的控制，可用以小型管式爐，手套箱，等離子清洗機，小型PECVD系統(tǒng)等。
技術參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
小型雙通道浮子混氣系統(tǒng)--CGM-2F |
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浮子流量計 |
兩個浮子流量計可以將流量計速率控制在16 to 160mL/min |
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混氣罐 |
內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣 |
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機械壓力表（混氣罐） |
-0.1-0.15MPa |
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關鍵和閥門 |
采用ss304不銹鋼。 三管件接口直徑為1-4”（接管可選聚四氟或不銹鋼）。
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外形尺寸 |
340L ×300D ×180H mm |
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可選 |
CVD或者PECVD。 液相氣體發(fā)生器。 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)----OTF-1200X-S50-2F。 Plasma等離子清洗
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凈重 |
約10kg |
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質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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