這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結合科晶集團的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
技術參數(shù)
產品名稱
混氣系統(tǒng)3路浮子--GSL-3F
浮子流量計
三種不同量程的浮子流量計，控制精度4%。
A:10-100ml/min
B:16-160ml/min
C:25-250ml/min
機械壓力表（混氣罐）
-0.1-0.15MPa
接頭和氣管
在混氣系統(tǒng)右側安裝三個氣體進口
兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個通道不通過氣體混合管。
兩個出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側（一路混合氣體和一路單獨的氣體）。
12”長1/4”直徑的聚四氟管及快插接頭。
真空針閥
采用SS304不銹鋼。
安裝在混氣系統(tǒng)的右側。
安裝帶剎車的轉向輪
外形尺寸:600L×600W×650H mm
可選
CVD 或者PECVD 液相氣體發(fā)生器
凈重
約75kg
質保期
一年保修，終身技術支持。
特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
免責聲明
本站產品介紹內容（包含產品圖片、產品描述、技術參數(shù)等）僅供參考。可能由于更新不及時和網站不可預知的BUG造成數(shù)據(jù)與實物的偏差，如果您對參數(shù)有異議，或者想了解產品詳細信息，請與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，公司會不定期完善和修改網站任何信息，怒不另外通知，請您見諒。
