ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質子流量控制器，結構小巧，操作方便，可用于氣體流量的精確測量和控制，流量范圍0~100，200，300，500SCCM可選，可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設備等配套使用，直接數字設定流量，穩(wěn)定可靠，操作方便。
技術參數
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產品名稱 |
質量流量控制器-ZF-MFC-1C |
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產品特點 |
防腐型單路氣體質子流量控制器，結構小巧。 DC15V電壓驅動。 流量數顯設定顯示，穩(wěn)定可靠，操作方便。 流量范圍：0~100,200,300,500 SCCM可選。 配備RS485計算機接口，同時可輸出4~20mA信號，用于計算機與遠程儀表的連接控制。 標配N2氣標定。 |
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工作電源 |
AC 220V，50/60Hz，7.5W 配備 AC 220V轉DC15V電源適配器。 |
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流量范圍 |
0~100,200,300，500 SCCM四種規(guī)格可選，特殊規(guī)格可定制 |
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材質 |
316不銹鋼閥體，耐腐蝕 |
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準確度 |
±2%FS |
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控制精度 |
±1%FS（恒流） |
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線性 |
±2%FS |
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工作壓力差范圍 |
0.1~0.5MPa |
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工作壓力 |
0.5MPa |
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設定流量方式 |
鍵入式 |
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進出口閥門 |
Φ6.35mm 卡套式接頭
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工作環(huán)境溫度 |
-10~50℃ |
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產品尺寸 |
168 L×30 W×132H mm |
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產品重量 |
0.92Kg |
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質保期 |
一年質保期，終身維護。 |
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使用注意事項 |
ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制，如NH3等。 出廠時采用氮氣（N2）標定，如通入其他氣體時，需要對照說明書中不同氣體流量轉換系數進行流量換算。 注意工作差，使用時進出氣兩端工作壓力差在0.15~0.5MPa范圍內。
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